光柵位移傳感器

科研院365体育直播   發表於 2017-08-23

光柵傳感器作爲最重要的數控360足球直播和數控系統功能部件 ,廣泛應用於數控機牀、精密儀器、機器人等領域,爲當前國家振興360足球直播製造業重點突破的關鍵核心功能部件。長期以來,國內產品只能跟隨國外產品進行二次複製。。該項目組開展了以下研究工作:

(1)高密度光柵精密測試技術:針對目前國內光柵系統隨速度增大信號幅值下降問題,研究高速高精度光電信號處理方法;研究光柵系統綜合誤差模型 ,研發誤差補償模塊 。基於納米測量的需要 ,目前設計光柵長度200mm,週期1100線/mm,全長度相位誤差小於λ/100 。

(2)絕對式光柵測量技術研究:開展絕對式光柵編碼、解碼原理研究,研究單碼道無限長編碼與解碼技術 ,開發絕對式光柵測量系統,填補國內空白  。目前對完成對單碼道絕對式光柵編碼規則與方法進行研究,完成了1.5長光柵尺的編碼工作 ,併成功進行了製作 。目前測試解碼速度爲0.5m/S,解碼分辨率5um 。

(3)二維光柵納米測量技術研究

基於干涉相位測量技術以及SPM技術,研究創新型光柵納米傳感原理,研發一維、二維光柵納米測量系統,研究納米驅動與控制方法 ,開發納米工作臺。目前該傳感器可在30mm*30mm範圍內實現20nm的測量重複性 。